Einführung in den SEMI EDA/Interface A Standard

Seit der Entwicklung von SECS-I (SEMI Equipment Communications Standard 1) im Jahr 1980 hat SEMI die Standardisierung der Halbleiterfertigung vorangetrieben. SECS-I legte den Grundstein für die Kommunikation zwischen Fabrik-Anlagen und -systemen. Im Laufe der Jahre erweiterte SEMI ihr Portfolio um SECS-II, GEM (Generic Equipment Model), die GEM300-Suite und die EDA (Equipment Data Acquisition)/Interface A-Suite und schuf so ein umfassendes Framework, das die vielfältigen und komplexen Anforderungen der Branche erfüllt. Diese Standards bieten eine gemeinsame Sprache für Kommunikation, Datenaustausch und Steuerung zwischen Fertigungsanlagen und ihren IT-Systemen. Durch die Standardisierung dieser Interaktionen gewährleistet SEMI die nahtlose Integration von Anlagen verschiedener Hersteller, die für Fertigungsanlagen unerlässlich ist. SEMI-Standards unterstützen Aktivitäten wie Anlagenkommunikation, Prozesssteuerung, Materialmanagement und Datenerfassung.