Interoperabilitätsprobleme in Fabriken mit SECS/GEM und OPC-UA lösen

Dieses Video stellt die Arbeit vor, die wir zur Interoperabilität zwischen SECS/GEM und OPC-UA durchgeführt haben. Dabei verwenden wir ein Informationsmodell, das auf einem Forschungspapier basiert, das wir zusammen mit CEA List und mit Unterstützung des europäischen Projekts Productive 4.0 entworfen haben.

In der Demonstration zeigen wir die Verbindung einer Halbleiterprozessanlage, die SECS/GEM (standardisiert von SEMI) mit einem MES spricht, der OPC-UA spricht (standardisiert innerhalb der OPC Foundation).

Dies erfolgt auf generische Weise auf der Grundlage eines von E5 SECS-II abgeleiteten Informationsmodells, wie im folgenden gemeinsam mit CEA List verfaßten Dokument beschriebent:
https://www.researchgate.net/publication/336628091_Towards_building_OPC-UA_companions_for_semi-conductor_domain

Der Anwendungsfall in der Demonstration zeigt:

• Abfrage mehrerer Variablen zur Datenerfassung zu Prozessdaten wie Temperatur und Druck
• Senden von Fernbefehlen an Geräte vom MES aus: RCMD PP-Select zur Auswahl des auszuführenden Prozessrezepts und RCMD Start
• Empfangen von Erfassungsereignissen, die von der Ausrüstung an das MES gesendet werden, wenn ein Ereignis auf dem Werkzeug auftritt (z. B. das Öffnen einer Tür, das Starten oder Stoppen eines Rezepts usw.), mit zugehörigen Daten, die in Berichten gruppiert sind, die mithilfe der Konfiguration dynamischer Ereignisberichte definiert werden

Die Implementierung erfolgte mit dem Agil'GEM - SECS/GEM Treiber und dem offiziellen OPC-UA .NET Standard Stack der OPC Foundation.