Robotische Steuerung, Planung und Konnektivität eines Halbleiter-Cluster-Werkzeugs

A²ECF Semi richtet sich an Gerätehersteller in der Halbleiter-, Elektronik- oder Photovoltaikindustrie.

Dieses hochgradig anpassbare SEMI E95-konforme Framework bietet eine standardisierte Möglichkeit zur Darstellung der Benutzeroberfläche für Halbleiteranwendungen:

• Mehrbenutzerverwaltung mit Zugriffsrechten (z. B. Bediener, Verfahrenstechniker, Außendiensttechniker) 
• Automatische Traceerstellung mit Werkzeugen zur Analyse der Geräteaktivität 
• Aufzeichnung von Bedieneraktionen 
• EFEM-Geräteverwaltung für die folgenden (kontaktieren Sie uns für eine Liste der unterstützten Geräte):
  • Wafer-Handler mit einem oder zwei Armen
  • Pre-Aligner
  • Loadports und FOUP-Öffner
  • Schreibleser
• Planer für die Wafer-Flow-Sequenzierung 
• Datenerfassung zum Fab-Host und Fernsteuerung über SECS/GEM- and PV2-Schnittstellenbibliothek Agil'GEM oder GEM300 (GEM + 300-mm-Automatisierungsstandards, einschließlich insbesondere Trägerverwaltung, Prozessauftrag, Steuerungsauftrag und Substratverfolgung über Agil'GEM300)

Integration

A²ECF SEMI kann entweder von Ihrem Team nach Schulung oder vom Agileo Automation-Team oder von beiden integriert werden.

Wenn wir uns um die Entwicklung kümmern, erstellen wir meist die erste Anwendung auf Basis von Spezifikationen, die wir in einer Beratungsphase gemeinsam erstellen können. In diesem Fall sind wir in der Lage, ein Budget und einen Zeitrahmen bis zur Werkzeugabnahme bei Ihrem Kunden vor Ort festzulegen, einschließlich SECS/GEM-Konnektivität. Entwicklungen werden nach unserer Methodik durchgeführt, um die erwartete Qualität sicherzustellen und Termine einzuhalten.